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电感耦合等离子体质谱法
优点：
试样在常温下引入；
气体的温度很高使试样完全蒸发和解离；
试样原子离子化的百分比很高；
产生的主要是一价离子；
离子能量分散小；
外部离子源，即离子并不处在真空中；
离子源处于低电位，可配用简单的质量分析器。
干扰及消除方法：
1.同质量类型离子：同质量类型离子干扰是指两种不同元素有几乎相同质量的同位素；
2.多原子离子干扰：一般认为，多原子离子并不存在于等离子体本身中，而是在离子的引出过程中，由等离子体中的组分与基体或大气中的组分相互作用而形成；
3.氧化物和氢氧化物干扰；
4.仪器和试样制备所引起的干扰。
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